LCP-25 Эксперименттік эллипсометр

Қысқаша сипаттама:

Қолмен эллиптикалық поляриметр қабықтың қалыңдығын және сыну көрсеткішін өлшеу үшін өшіру әдісін пайдаланады және сынақ процесінің ауытқуы мен ауытқу бұрышын қолмен реттейді.Эллипсометрия қатты субстратта диэлектрлік жұқа қабықшаны өлшеуде кеңінен қолданылады.Пленканың қалыңдығын өлшеу әдісінде оны ең жұқа және ең жоғары дәлдікпен өлшеуге болады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Техникалық сипаттамалар

Сипаттама	Техникалық сипаттамалар
Қалыңдықты өлшеу диапазоны	1 нм ~ 300 нм
Оқиға бұрышының диапазоны	30º ~ 90º , Қате ≤ 0,1º
Поляризатор мен анализатордың қиылысу бұрышы	0º ~ 180º
Дискінің бұрыштық масштабы	Әр шкала бойынша 2º
Мин.Вернье оқуы	0,05º
Оптикалық орталық биіктігі	152 мм
Жұмыс сатысының диаметрі	Φ 50 мм
Жалпы өлшемдер	730x230x290 мм
Салмағы	Шамамен 20 кг

Бөлім тізімі

Сипаттама	Саны
Эллипсометр бірлігі	1
He-Ne Laser	1
Фотоэлектрлік күшейткіш	1
Фото ұяшық	1
Кремний субстратындағы кремнеземдік пленка	1
Талдау бағдарламалық құралының ықшам дискісі	1
Нұсқаулық	1