LCP-25 эксперименттік эллипсометр
Кіріспе
Қолмен жасалған эллиптикалық поляриметр пленканың қалыңдығы мен сыну көрсеткішін өлшеу үшін сөну әдісін қолданады және сынау процесінің ауытқуы мен ауытқу бұрышын қолмен реттейді. Эллипсометрия диэлектрлік жұқа қабықты қатты субстратта өлшеуде кеңінен қолданылады. Қабыршақтың қалыңдығын өлшеу әдісінде оны ең жіңішке және ең жоғары дәлдікке дейін өлшеуге болады.
Техникалық сипаттамалары
| Сипаттама | Техникалық сипаттамалары |
| Қалыңдықты өлшеу диапазоны | 1 нм ~ 300 нм |
| Оқиғалар бұрышы | 30º ~ 90º, қате ≤ 0,1º |
| Поляризатор мен анализатордың қиылысу бұрышы | 0º ~ 180º |
| Дискінің бұрыштық шкаласы | Масштаб бойынша 2º |
| Мин. Нерниерді оқу | 0,05º |
| Оптикалық орталық биіктігі | 152 мм |
| Жұмыс кезеңінің диаметрі | Φ 50 мм |
| Жалпы өлшемдер | 730х230х290 мм |
| Салмақ | Шамамен 20 кг |
Бөліктер тізімі
| Сипаттама | Саны |
| Эллипсометр бөлімі | 1 |
| He-Ne лазер | 1 |
| Фотоэлектрлік күшейткіш | 1 |
| Фото ұяшық | 1 |
| Кремний субстратындағы кремнеземді пленка | 1 |
| Бағдарламалық жасақтама анализі | 1 |
| Нұсқаулық | 1 |
Хабарыңызды осы жерге жазып, бізге жіберіңіз
